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个人信息Personal Information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：西安电子科技大学
学历：博士研究生毕业
学位：博士研究生毕业
在职信息：在岗
所在单位：微电子学院
入职时间：2015-11-01
学科：集成电路系统设计. 微电子学与固体电子学
办公地点：北校区行政楼129室
电子邮箱：
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一种基于硅通孔的三维耦合器及其制备方法
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专利名称：一种基于硅通孔的三维耦合器及其制备方法
所属单位：微电子学院
专利范围：三维集成电路
学校署名:西安电子科技大学
专利类型：发明
专利状态：授权专利
申请号：201811246791.0
授权号：CN109546278A
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2018-10-25
公开日期：2019-03-29
授权日期：2021-04-29